Agilent真空泵的工作压力应满足工艺工作压力的要求，选择时的真空度应比真空设备的真空度高一半至一个数量级。
Agilent真空泵油过滤器堵塞或损坏。真空泵油过滤器也称油雾分离器、油过滤芯、排气滤芯等叫法，若油雾分离器发生堵塞，被抽进泵体的气体将不容易排出，此时泵体内内压过高，抽速降低，真空度下降。
Agilent真空泵泵漏油：油已经积碳，堵塞了油路，真空泵油无法起到很好的润滑作用，造成泵体温度过高，真空泵的使用不当，所以平时应注意真空泵油的正确使用。真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。