爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？ 感谢回答

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

爱德华分子泵控制器的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

爱德华分子泵控制器每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。