高纯氮气也作为食品保鲜保护气体的用途。在化工行业,氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。
高纯氮气可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
用作回流焊和波峰焊配套的保护气体,提高焊接质量。高纯氮气用作浮法玻璃生产过程中的保护气体,防锡槽氧化。