SHIMADZU真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏
在清洁SHIMADZU真空泵时应该在清洁干净的环境里进行，不宜有杂物，粉尘，水源，温度过高的区域。在安装前应先检查电机与泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。如果长时间没有运行，应断续多次启动真空泵。
定期检查油镜油位，观察SHIMADZU真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养；或者根据实际使用工况进行保养。