高纯氮可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
用作回流焊和波峰焊配套的保护气体,提高焊接质量。高纯氮用作浮法玻璃生产过程中的保护气体,防锡槽氧化。
做冷冻剂,高纯氮可使粮食不霉烂、不发芽,长期保存。液氮还可用作深度冷冻剂。