Edwards二手分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源 解决方法:避免光照或热源
真空度很好的情况下,Edwards二手分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池
Edwards二手分子泵轴承为什么会烧毁 原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘