荧光光谱(1) 不同样品的抽真空时间是不一样的，有的较短，有的较长，如氧化铝样品就需要较长的时间来抽真空，可能和样品表面吸附的水份有关。除了样品外，还应该检查一下系统是否漏气，真空泵的能力是否下降。 (2) 如果是烧结的样品，抽的时间也比较长.表明多孔的结构，比较容易吸附空气或水分.所以抽真空时间长。
荧光光谱(1) 用荧光Ｘ射线法算出单位面积的质量（目标元素的附着量：g/m2）非实际质量。不能检出镀层里空隙的存在。用附着量除以目标元素的密度（g/cm3）换算成厚度（mm）。实际镀层密度不同的话，会产生误差。 (2)测厚度可选用无标样的薄膜 FP 法，也可选用标准曲线法，标准曲线法需要样品，其标称值好覆盖产品规格的上下限。 (3)测试厚度主要有两种方法：发射法和吸收法，前者测镀层元素的强度，后者测基体元素的强度。
荧光光谱(1)待机状态对仪器性能影响比较小。 (2)影响仪器稳定性的因素有:温度变化,湿度变化,电压变化等. 一般情况注意好温湿 度就可以了。