谁能帮助我！维修Edwards进口分子泵时需要注意什么？

当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

当Edwards进口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。