多晶硅料四种气态四氯hua硅料盐酸复苏纯化学反应发生在无填料喷雾吸收塔，生成氯hua氢气体，氯hua氢气体在液体真空抽吸泵完成反应生成盐酸，集中的过程要求，集中存储。
硅料固体:液体蒸馏回收四氯hua硅料提纯多晶硅料料生产线生产的四个四氯hua硅料气体，纯气体四氯hua硅料在四个无填料喷雾吸收塔通过化学反应，二氧化硅料和氯hua氢生成的固体形状，二氧化硅料固体形状到过滤设备和干燥设备，干燥硅料硅料处理包装进店，二氧化硅料固体恢复过程。
计算材料的回收，每年节约2.48亿元成本根据当前的市场价格，相当于每一公斤减少248元多晶硅料料的成本。