真空值是光纤光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
若发现是光纤光谱仪硬件损坏，应请维修工程师来现场处理，若无法查出故障原因，也应及早与维修工程师沟通，及时传递仪器的故障信息，以便工程师来现场维修之前能大概判定故障原因并准备好所需的备品备件。
光纤光谱仪排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，过滤器入口端有异物。如果设备的内部有异物，将会引起排气不畅。要定期更换排气管，要更换透明的塑料管，定期对排气管路进行吹扫。