一般将转子叶片进行表面处理，如制备氧化铝膜或电镀处理等。这样作多少有些改善。但是，材料作到完全没有气孔、实际上是不可能的，就现实而言，排除上述气体不应该使用普通的涡轮分子泵，而用*用的涡轮分子泵，如陶瓷转子耐腐蚀
为了解决漏油问题，在pfeiffer二手真空泵的维护过程中，需要更换老化的油窗、轴封、垫片和填充泵油的毡垫。真空泵检修后，加注前用真空泵油清洗真空泵，并用溶剂清洗加注口滤网，保持油箱清洁。
电机负载。pfeiffer二手真空泵电机负载，此时电流过高，如超越电控箱设置的电流时，真空泵会自行跳闸、脱闸，此时为真空泵的正常现象，可调高电流维护上限来处理跳闸现象；