涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上的和使用上的两方面的原因造成的。在设计上，有材料方面的问题。如材质的选择、毛坯的管理(如转子主轴加工后要垂直放置防弯变形)材料缺陷的检查等；在使用上存在的问题也不少，在泵口处异物的混入，如玻璃碎片、垫片、螺钉等，
为保护涡轮分子泵不受损伤，生产商还提供了一个安全阀，在前级泵或前级真空失效的情况下，安全阀就会立即关闭处理室的排气装置。
涡轮分子泵是高或超高真空泵，主要由转子和定子两个部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级，泵级产生一个特定的压缩比。