Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？ 想知道

打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。

Edwards真空分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards真空分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。