超高纯氮气可以用于电子工业：电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
超高纯氮气也作为食品保鲜保护气体的用途。在化工行业，氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。
这个吧，常用作保护气体，如：瓜果，食品，灯泡填充气。超高纯氮气以防止某些物体暴露于空气时被氧所氧化，用氮气填充粮仓
