高纯气体在当空气中气浓度高于33%时人就有窒息的危险；当气浓度超过50%时，人体会出现严重缺氧症状；浓度达到75%以上时，能在数分钟内导致接触者昏厥。因此操作人员在使用的时候要非常小心注意。
高纯气体自然扩散法：将充入标准气体的钢瓶例立放在合适的位置，静止不动，靠气体本身的自然扩散来达到混合均匀，但些法所需时间较长。
高纯气体的产业链主要包括四大环节：原材料和设备、气体生产制造、气体运输和存储，及下游应用。目前，设备、气体生产制造和供应大都实现了一体化。原材料和设备：原材料包括空气、工业废气、化学产品等，设备包括空分设备、储气罐等气体生产制造：包括空分气体、合成气体和特种气体；气体供应：包括现场制气/管道、大宗气体运输、气瓶等；下游应用：包括冶金、化工、电子行业等。