安捷伦分子泵油随着泵的运转恶劣,因而需要通过油视窗查明的污浊程度及粘度情况,并及时替换泵油。替换泵油的周期:每六个月换油清洗一次。
安捷伦分子泵在长时间运转中产生高温(40度-80度)。因此操作或刚停止运行后,在电机和泵体冷却到正常温度以前,不能触摸表面
安捷伦分子泵喷油,说明进气口外有大量的漏点,甚至是进气口直接大气。解决之道:封住泵的进气口使泵运转,如果不喷油的话,说明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换坏的排气阀片。