真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
安捷伦分子泵的维护应逐步进行。不得强行拆卸泵。还需要对拆下的泵部件进行分类和标记，以便在组装期间使用。
安捷伦分子泵系统泄漏:泄漏源可能包括排水阀打开、垫圈吹气、法兰松动、阀门包装不良、分离器上的气压下降支腿不足、管道损坏等。泄漏量越高，泄漏越低。
