分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
工作条件(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵的抽气机理与真空泵靠泵腔容量转变开展抽真空的原理不一样,运用了角动量传送基本原理,使分子结构定项流动性而被排出来泵外,进而做到抽真空的目地