打开爱德华分子泵维修之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。
当爱德华分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。