X荧光光谱仪X 射线荧光分析仪的优点： (1)采样方式灵敏，如 ESI英飞思 SEA 系列配有较大检测室 ，多数试样可直接进行检测。可以减少取样带来的损耗，对于已压铸好的机械零件可以做到无损检测，而不毁坏样品。 (2)测试速率高，可以在较少时间内进行大量样品测试，分析结果可以通过计算机直接连网输出。 (3)分析速度较快。 (4)对于纯金属可采用无标样分析，精度能达分析要求。 (5)不需要实验室与操作人员，不引入其它对环境有害的物质。 X 射线荧光分析仪的缺点： (1) 关于非金属和界于金属和非金属之间的元素很难做到检测。在用基本参数法测试时，如果测试样品里含有 C、H、O 等元素，会出现误差。 (2)不能作为仲裁分析方法，检测结果不能作为根据，不能区分元素价态。 (3)对于钢铁等含有非金属元素的合金，需要代表性样品进行标准曲线绘制，分析结果的是建立在标样化学分析的基础上。 (4)标准曲线模型需求不时更新，在仪器发生变化或标准样品发生变化时，标准曲线模型也要变化。
X荧光光谱仪(1) 工作曲线法就是利用标准样品先建立一条标准的校正曲线，测试时再根据这个曲线计算测量结果。用已知浓度的几个标准样品测强度,得到一系列相应的强度信号 ,强度和浓度对应形成一系列的点,通过软件拟合成一条标准曲线，测试样品时,仪器测试到一个信号强度,对应这条曲线,可以知道对应的浓度. (2)标准工作曲线法相对 FP 法来说确度较高，但是由于仪器本身存在背景强度，导致低于背景强度的样品出现负值，标准品及强度漂移影响曲线的度、曲线的检出限及曲线上限问题。
X荧光光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。