请问：爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？

当爱德华分子泵控制器M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

爱德华分子泵控制器不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。