在化工行业,超高纯氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。用作铝制品、铝型材加工,铝薄轧制等保护气体。
超高纯氮气可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
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