常规的岛津分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造，使得叶片转速不断提高的同时，更使分子泵适合超高真空系统，也延长了分子泵的使用寿命。
岛津分子泵油乳化、碳化。真空泵在长期使用过程中不经常更换以及人工保养的话，真空泵油将会发生ru化或碳化现象，从而导致真空泵缸体出现磨损，油管堵塞、油过滤器堵塞等一系列问题。
拆卸，清洗和安装机械岛津分子泵时，必须注意不要损坏密封面，也不要丢失螺丝。清洗并干燥要吹干的零件。（温度不应太高，时间不应太长。在安装过程中擦拭真空泵壁。应使用少量润滑脂，以尽可能消除死角。