一般情况下，岛津真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。
岛津真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
岛津真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以选无油隔膜真空泵，或者把油蒸气排到室外。
