Edwards进口分子泵维修有什么注意事项？ 感谢回答

Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

当Edwards进口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。