分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使气体分子获得定向运动的速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵，分子泵，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
它的特点主要有： 1、泵腔内有可旋转的转子，转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵，后一级的入口与前一级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 0.01mm 的间隙，气体分子由入口进入泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级泵抽走。
3、分子真空泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。 4、它的不足：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单，抽速大的扩散泵所代替。