当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
当爱德华分子泵控制器未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
爱德华分子泵控制器不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵