普发真空泵泵漏油：油已经积碳，堵塞了油路，真空泵油无法起到很好的润滑作用，造成泵体温度过高，真空泵的使用不当，所以平时应注意真空泵油的正确使用。真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。
分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
在分子泵刚刚开始工作的阶段，由于有大量的气体由进气口被抽到排气口，所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大，而随着进气口压力的下降，分子泵抽下来的气体量在减少，这时，气体返流对抽速的影响也就大起来了。