当爱德华分子泵控制器出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。
爱德华分子泵控制器故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
当爱德华分子泵控制器M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。