Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？求解答

Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。

当Edwards真空分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

当Edwards真空分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。