多晶硅四种气态四氯hua硅料盐酸复苏纯化学反应发生在无填料喷雾吸收塔，生成氯hua氢气体，氯hua氢气体在液体真空抽吸泵完成反应生成盐酸，集中的过程要求，集中存储。
硅料固体:液体蒸馏回收四氯hua硅料提纯多晶硅料生产线生产的四个四氯hua硅料气体，纯气体四氯hua硅料在四个无填料喷雾吸收塔通过化学反应，二氧化硅料和氯hua氢生成的固体形状，二氧化硅料固体形状到过滤设备和干燥设备，干燥硅料硅料处理包装进店，二氧化硅料固体恢复过程。
多晶硅还原过程氢、氢氯、三氯甲硅料烷和四氯hua硅料四，不回收，将导致资源的浪费和环境污染。绝大多数的多晶硅料生产企业使用闭环法多晶硅料的生产改善，基本上可以满足环境保护的要求，但大型投资面临的问题。