爱德华分子泵维修不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
爱德华分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。