帮个忙，维修Edwards二手分子泵要注意哪些细节？

Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards二手分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

当Edwards二手分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。