高纯氮用作色谱仪等仪器的载气。用作铜管的光亮退火保护气体。跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机。
用作回流焊和波峰焊配套的保护气体，提高焊接质量。高纯氮用作浮法玻璃生产过程中的保护气体，防锡槽氧化。
高纯氮可以用于电子工业：电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
