怎么维修Leybold分子泵？求解答

Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。

Leybold分子泵拥有非常强的排除水蒸气的能力；可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。

Leybold分子泵低噪音，低振动。结构紧凑，体型小，节省空间。在低压强下仍能保持高的抽速。