抽速是分子泵的***参数,提高转速是加大抽速为直接的方法之一,随着动平衡技术的发展,分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展,分子泵转子材料也发生了变化,可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成,这使转子的转速得到进一步提高。
变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Po“。 答:原因电压低。
封式旋片泵(即油泵)极限真空能到达10-3mbar,但油泵容易产生返油倒吸的问题,如果没有控制返流的安全阀,或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染,从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物,影响使用;并且油泵操作温度较高,如果散热效果较差,会直接影响客户的测试结果;另外还需要定时换油,总体来说维护成本高,能耗大。