分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果? 答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形? 原因:过热,负载大。 解决措施:检查冷却系,检查系统。
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池***或密封不良。 解决方法:检查油池。