当爱德华分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
爱德华分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏
爱德华分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。