真空泵故障的一异常噪音，如果噪音变大或不典型，这是一个明显的迹象，表明真空泵可能有问题。需要更换磨损部件，例如密封件、O 型圈、旋转叶片，甚至电机轴承或电机本身。泵还需要全程维护和清洁。
真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，主要原因是磨损时间过长，密封件损坏或装配不良—未压紧和上紧螺钉时用力不均—而造成。
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