1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?原因:附近有光照或其他热源解决方法:避免光照或热源
2、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?原因:防护网po裂,前级管道po裂解决方法:优化系统设计
3、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?原因:油池po裂或密封不良解决方法:检查油池