在化工行业，超高纯氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。用作铝制品、铝型材加工，铝薄轧制等保护气体。
超高纯氮气可以用于电子工业：电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
做冷冻剂，超高纯氮气可使粮食不霉烂、不发芽，长期保存。液氮还可用作深度冷冻剂。
