高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。高纯氮气
对于需要长期采购高纯氮气的使用单位,必须找可以长期库存供货的气体公司合作。
装运高纯氮气的钢瓶和槽车，必须符合国家制订的《危险货物运输规则》。液氨钢瓶应存放于库房或有棚的平台上；露天存放时，应以帐篷遮盖，防止阳光直射。
