分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。 解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源。 解决方法:避免光照或热源。
封式旋片泵(即油泵)极限真空能到达10-3mbar,但油泵容易产生返油倒吸的问题,如果没有控制返流的安全阀,或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染,从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物,影响使用;并且油泵操作温度较高,如果散热效果较差,会直接影响客户的测试结果;另外还需要定时换油,总体来说维护成本高,能耗大。