荧光光谱(1) 取各种标准样品来测试（例如铜合金、铝合金、PVC、PE 样品等），每种样品用相对应的方法来测试（例如铜合金就用金属 FP 法来测试），计算与标准值之间差距。 每个样品测试 3－5 次，取均值，然后对比所用的仪器的允许误差就可以知道是否合格。文件上的误差范围只是一个参考，可以自己选择一个对本公司的误差范围作为仪器的标准误差允许范围。 (2) 针对 EDXRF 目前有《半导体探测器 X 射线能谱仪通则》《金属覆盖层覆盖层厚度测量 X 射线光谱方法》等相关，另每个公司和机构内部都有自己一套的标样测试重复性和稳定性要求。ESI英飞思 仪器标准，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 时相对误差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 时相对误差不得大于 30% 。
荧光光谱(2) 分辨率是检测器的问题.对于 ESI英飞思 的仪器而言,照射面积增大,效果比较好一点,比如说 可调光斑面积的 X 射线系统,1MM 光斑的测试效果比 5MM 的测试效果差很多。 (3) 照射面积的大小直接影响测试结果的准确性，在所有测试条件不变的情况下，测试面积越大，测试的强度越高，和分辨率没有关系，直接影响分辨率的只有狭缝（准直器）、晶体和探测器。
荧光光谱(1)待机状态对仪器性能影响比较小。 (2)影响仪器稳定性的因素有:温度变化,湿度变化,电压变化等. 一般情况注意好温湿 度就可以了。