X荧光光谱仪X 射线荧光分析仪的优点： (1)采样方式灵敏，如 ESI英飞思 SEA 系列配有较大检测室 ，多数试样可直接进行检测。可以减少取样带来的损耗，对于已压铸好的机械零件可以做到无损检测，而不毁坏样品。 (2)测试速率高，可以在较少时间内进行大量样品测试，分析结果可以通过计算机直接连网输出。 (3)分析速度较快。 (4)对于纯金属可采用无标样分析，精度能达分析要求。 (5)不需要实验室与操作人员，不引入其它对环境有害的物质。 X 射线荧光分析仪的缺点： (1) 关于非金属和界于金属和非金属之间的元素很难做到检测。在用基本参数法测试时，如果测试样品里含有 C、H、O 等元素，会出现误差。 (2)不能作为仲裁分析方法，检测结果不能作为根据，不能区分元素价态。 (3)对于钢铁等含有非金属元素的合金，需要代表性样品进行标准曲线绘制，分析结果的是建立在标样化学分析的基础上。 (4)标准曲线模型需求不时更新，在仪器发生变化或标准样品发生变化时，标准曲线模型也要变化。
X荧光光谱仪X 射线是一种电磁波，波长比紫外线还要短，为 0.001‐ 10nm 左右。X 射线照射到 物质上面以后，从物质上主要可以观测到以下三种 X 射线。荧光 X 射线、散射 X 射线、透过 X 射线，ESI英飞思NT 产品使用的是通过对一种荧光 X 射线的测定，从物质中获取元素信息（成分和膜厚）的荧光 X 射线法原理。物质受到 X 射线的照射时，发生元素所固有的 X 射线（固有 X 射线或者特征 X 射线）。荧光 X 射线装置就是通过对该 X 射线的检测而获取元素信息。
X荧光光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。