Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
打开Edwards真空分子泵维修之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
当Edwards真空分子泵维修未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。