造成瓦里安分子泵真空不足的原因很多,主要有叶片磨损、缸体磨损以及密封性能降低。同时吸入气体温度太高也会造成真空不足,因此在工艺温度很高的情况下需加装冷却装置来冷却吸入气体。
瓦里安分子泵如在阴冷潮湿的环境或抽除弱酸气体的环境使用,停机前抽入一定量的干燥空气;如遇突然停水,停水以后应即刻停泵,否则泵会因过热而卡死或烧毁电机等;泵工作时不要频繁起停,这样会影响泵的寿命。
导致瓦里安分子泵出现故障,很多时候是因为日常使用不当而造成的,所以真空泵的日常操作及保养相当重要。