Edwards二手分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源 解决方法:避免光照或热源
真空度很好的情况下,Edwards二手分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池
Edwards二手分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱? ①电压不稳②强干扰③高压打火