哪位知道Edwards二手分子泵维修有哪些是需要注意的？

Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards二手分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。