超高纯氮气用作色谱仪等仪器的载气。用作铜管的光亮退火保护气体。跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机。
超高纯氮气可以用于电子工业：电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
这个吧，常用作保护气体，如：瓜果，食品，灯泡填充气。超高纯氮气以防止某些物体暴露于空气时被氧所氧化，用氮气填充粮仓
